Pfeiffer分子泵的清理十分關(guān)鍵,假如前面泵沒有問題,而真空泵在要求的時間內(nèi)沒有做到要求的真空值,在清除漏汽的狀況下,表明分子泵內(nèi)部臟化了,就必須開展清理。分子泵的清理分成立即開展清理和拆裝清理,前面一種適用內(nèi)部不太臟,后面一種用以內(nèi)部比較嚴重臟化。
Pfeiffer分子泵常常選用立即清理,其方式以下:(1)關(guān)閉分子泵,開展排氣管。(2)從機器設(shè)備上當心卸掉分子泵,留意不必遇到插口的邊沿一部分,以防危害密閉性。(3)卸掉冷卻塔、潤滑脂包等。(4)將分子泵的高真空泵插口朝下,豎直地方人一個盛滿沒有水酒精的器皿中,液位高寬比略低前面真空泵插口。
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