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對特氣的危害性進行分析，通過本質(zhì)安全設(shè)計，消除安全隱患。根據(jù)行業(yè)規(guī)范，對特氣房選址、安全間距、防火分區(qū)、房間通風、電氣防爆等進行評估。管道設(shè)計應(yīng)進行保壓和氦測漏，確保系統(tǒng)密閉性。特種氣體的應(yīng)用領(lǐng)域主要在集成電路制造、太陽能電池、化合物半導體、液晶顯示器、光纖生產(chǎn)四大領(lǐng)域，其中主要應(yīng)用于半導體集成電路的生產(chǎn)制造。在半導體工業(yè)中應(yīng)用的有110 余種單元特種氣體，其中常用的有20～30 種。根據(jù)有關(guān)數(shù)據(jù)顯示，特種氣體價格，中國特種功能電子氣體市場規(guī)模逐年增長，僅2016年，特種混合氣體，中國特種電子氣體市場規(guī)模約為98億元左右。值得關(guān)注的是，從產(chǎn)業(yè)鏈以及技術(shù)層面歐美國家占據(jù)較好的地位。
特種氣體 specialily gas：用于各種電子產(chǎn)品生產(chǎn)的薄膜氣體、摻雜氣體、外延氣體、離子注入氣體、刻蝕氣體及工藝設(shè)備所使用的氣體。通常包括可燃性氣體、氧化性氣體、腐蝕性氣體、毒性氣體、惰性氣體等。硅片的蝕刻氣體（特種氣體）主要是氟基氣體，包括四氟化碳、四氟化碳/氧氣、六氟化硫、六氟乙1烷/氧氣、三氟化氮等。為了提高氣體穩(wěn)定性和保質(zhì)期，電子特種氣體，天然1氣公司已經(jīng)開發(fā)出各種技術(shù)，以1小化任何局部活性位點在鋁氣瓶中催化表面的潛在效力，然后再填充特種氣體。
氣體產(chǎn)品大致可以分為兩大類別， 即一般工業(yè)氣體和特種氣體。一般工業(yè)氣體是指經(jīng)過空氣分離設(shè)備制造的普通級的氧氣和氮氣、經(jīng)過焦爐氣分離或電解等方法制造出來的普通純度的其它種類氣體。對特氣的危害性進行分析，通過本質(zhì)安全設(shè)計，消除安全隱患。根據(jù)行業(yè)規(guī)范，對特氣房選址、安全間距、防火分區(qū)、房間通風、電氣防爆等進行評估。管道設(shè)計應(yīng)進行保壓和氦測漏，確保系統(tǒng)密閉性。特種氣體(Specialtygases) 氣體工業(yè)名詞，南通特種氣體，是指那些在特定領(lǐng)域中應(yīng)用的，對氣體有特殊要求的純氣，高純氣或由高純單質(zhì)氣體配制的二元或多元混合氣。
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