金屬靶材材質(zhì)分為:
鎳靶、Ni、鈦靶、Ti、鋅靶、Zn、鉻靶、Cr、鎂靶、Mg、鈮靶、Nb、錫靶、Sn、鋁靶、Al、銦靶、In、鐵靶、Fe、鋯鋁靶、ZrAl、鈦鋁靶、TiAl、鋯靶、Zr、鋁硅靶、AlSi、硅靶、Si、銅靶Cu、鉭靶T、a、鍺靶、Ge、銀靶、Ag、鈷靶、Co、金靶、Au、釓靶、Gd、鑭靶、La、釔靶、Y、鎢靶、w、不銹鋼靶、鎳鉻靶、NiCr、鉿靶、Hf、鉬靶、Mo、鐵鎳靶、FeNi、鎢靶、W等。
什么是靶材綁定?靶材綁定的適用范圍、流程?
綁定是指用焊料將靶材與背靶焊接起來。主要有三種的方式:壓接、釬焊和導(dǎo)電膠。
1.壓接:采用壓條,大連1N金靶材,一般為了提高接觸的良好性,1N金靶材報價,會增加石墨紙、Pb或In皮;
2.釬焊:一般使用軟釬料的情況下,1N金靶材哪家好,要求濺射功率小于20W/cm2,1N金靶材廠,釬料常用In、Sn、In-Sn;我司采用銦焊綁定技術(shù)。
3.導(dǎo)電膠:采用的導(dǎo)電膠要耐高溫,厚度在0.02-0.05um。
超純金屬的制備有化學(xué)提純法如精餾(特別是金屬氯化物的精餾及氫還原)、升華、溶劑萃取等和物理提純法如區(qū)熔提純等(見硅、鍺、鋁、銦)。其中以區(qū)熔提純或區(qū)熔提純與其他方法相 結(jié)合有效。
由于容器與藥劑中雜質(zhì)的污染,使得到的金屬純度受到一定的限制,只有用化學(xué)方法將金屬提純到一定純度之后,再用物理方法如區(qū)熔提純,才能將金屬純度提到一個新的高度。可以用半導(dǎo)體材料鍺及超純金屬鋁為例說明典型的超純金屬制備及檢測的原理(見區(qū)域熔煉)。
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