廣州潽拓光電(圖)-安捷倫分子泵抽速-東沙群島安捷倫

廣州潽拓光電科技有限公司——安捷倫

測試過程

試驗期間，渦輪泵以滿轉速持續(xù)運行。初始的磁場設置為 1mT ，泵在該磁場下運行 12 個小時以穩(wěn)定轉子溫度；然后關閉磁場，再運行 12 個小時以使轉子降溫；然后再分別把磁場設置為 2mT，按照前面的步驟繼續(xù)進行測試，直至磁場增加到 7mT 。

測試結果

當磁場逐步增加后，被測分子泵轉子的平衡溫度也隨之上升，當磁場強度為 7mT 時，平衡溫度上升到 100 攝氏度左右（安捷倫分子泵的允許溫度為 120 度）。

另外，KIT 使用該測試平臺測試了另一臺其它品牌的分子泵，一系列的對比測試表明，安捷倫分子泵在相同的磁場條件下轉子的平衡溫度明顯較低（ 5mT 時，安捷倫分子泵變頻器，低大約40度）。

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TwisTorr 404 FS 渦輪分子泵TwisTorr 404 FS 配備 DN100 法蘭，可提供 400 L/s 的抽速，對輕質氣體可實現高壓縮比，還配備已注冊商標的安捷倫懸浮軸承技術 (AFS)，確保低振動和低噪音，適用于各種敏感環(huán)境。TwisTorr 404 FS 的高壓縮比、高前級耐壓能力和免維護運行使其成為一種可靠、、低成本的分子泵。

404 FS 是 UHV 系統、核研究、離子注入器、表面分析、電子顯微鏡和低溫應用的選擇。該泵的智能控制器可根據系統需要自動優(yōu)化泵的性能。

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Agilent 1260 Infinity 脫氣機 G4225A 型號，東沙群島安捷倫，由四個單獨的真空腔以及半滲透性管、真空泵和控制組件組成。打開真空脫氣機的電源開關后，控制組件就會開啟真空泵，真空泵可使真空腔內產生低壓。其壓力由壓力傳感器測定。通過控制空氣入口過濾器漏率和使用壓力傳感器調節(jié)真空泵，真空脫氣機可以保持低壓狀態(tài)。

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安捷倫真空：提供適合電子顯微鏡的全套真空產品安捷倫真空對電子顯微鏡之類的聚束系統真空應用有著非常豐富的經驗，為了滿足SEM、TEM系統高真空、低電磁噪聲和低振動的要求，開發(fā)了一系列的產品。

安捷倫其他常見應用：

1.分析(質譜分析、電子顯微鏡等)

2.半導體(電子組件、集成電路、柔性太陽能電池等)

3.光學/玻璃(熱保護，安捷倫分子泵抽速，增透、反射、光學濾光膜)

4.鍍膜(表面保護，裝飾涂料，顯示器，安捷倫Turbo-V401，屏幕)

5.真空冶金(真空爐、真空釬焊、真空燒結、真空合金、)

6.泄漏檢測(真空系統、車輛的油箱，安全氣囊

7.研究實驗(醫(yī)學成像、核粒子物理，核聚變研究，激光應用和許多更多)

8.燈生產行業(yè)及相關

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性能指標H2 壓縮比1.5 x 106前級管道法蘭尺寸KF 16 NW前級耐壓 — N212 mbar啟動時間< 3 min噪音水平41 dB(A)工作位置Any建議采用的前級泵容量7 m3/h抽速 — Ar250 L/s抽速 — H2220 L/s抽速 — He255 L/s抽速 — N2250 L/s氣體通量 — N2、水冷250 sccm極限真空<1 x 10-10 mbar標準和認證EN 61010-1

EN 61326-1

EN 1012-2

EN 12100

EN 50581

機械指令 2006/42/EC

電磁兼容性指令 2014/30/

EU 指令 2011/65/EU法蘭類型DN 100DN 160貯存環(huán)境溫度-40 至 +70 °C運行環(huán)境溫度+5 to +35 °C重量5.84 kg額定轉速60 KRPM

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為了確認磁場對分子泵工作的影響，德國卡爾斯魯厄理工學院（KIT）設計并執(zhí)行了下面的測試：

測試條件和裝置

被測分子泵的型號為 TwisTorr304 FS CFF6，使用一對亥姆霍茲線圈(直徑 120 厘米)來產生包圍整個泵的均勻磁場。

被測分子泵由一臺渦旋干泵作為前級，分子泵的進氣口壓力抽至 1E-3 mbar 以下（該壓力以下，熱對流幾乎為零，分子泵轉子的熱量僅可以通過輻射傳遞出去很小的一部分）。使用 20℃ 的冷卻水對分子泵持續(xù)進行冷卻；分子泵的控制器會自動調整電機電流，保持轉子以恒定轉速運行。使用安裝于分子泵口的紅外溫度計測量被測試分子泵的轉子溫度。使用連接到分子泵外殼的 PT100 熱電阻測量定子的溫度。